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Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics--2003 : symposium held April 21-25, 2003, San Francisco, California, U.S.A /
Warrendale, Pennsylvania : Materials Research Society, 2003
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Área/Cota
T - Tecnologia
1
Autor
Materials Research Society. Fall Meeting
McKerrow, Andrew J.
1
Symposim on Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-k Dielectrics
1
Idioma
English
1
Gênero
Conference papers and proceedings
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Congresses
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